ICS??????31.31-070
T/CEIA
團(tuán)???????????體???????????標(biāo)???????????準(zhǔn)
T/CEIA-1002—2020
電子工業(yè)防靜電系統(tǒng)通用要求
General Requirements for Antistatic Systems in Electronic Industry
2 0?2?0 –?0?9?–?0?1?發(fā)?布
中國電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)防靜電裝備分會(huì)???發(fā)布
T/CEIA-1002—2020
目????次
5.1???產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn) 6
附錄A???(規(guī)范性附錄) ESD?防護(hù)項(xiàng)目的輔助評(píng)測(cè) 15
附錄B ??(規(guī)范性附錄)電子產(chǎn)品靜電敏感度測(cè)試 16
圖 2?共用接地極(點(diǎn))標(biāo)識(shí) 8
圖 3 防靜電工作區(qū)(EPA>?標(biāo)?識(shí) 11
圖 5?靜電敏感電子產(chǎn)品標(biāo)識(shí)? 14
表 3????氣潔凈度等級(jí) CGB50073) ? ?10
表 4??防靜電工作區(qū)(EPA)防靜電裝備(用品)技術(shù)要求一覽表? 12
表B.1?電子元器件、設(shè)備靜電放電敏感度測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)? 17
T/CEIA?-1002—2020
前?????言
本標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)電子工業(yè)使用的靜電敏感電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、測(cè)試、使用、存儲(chǔ)、運(yùn)輸、維護(hù)等環(huán)節(jié)所建?立的防靜電系統(tǒng)，提出了詳細(xì)的要求，包括防靜電管理和技術(shù)兩方面，可作為電子工業(yè)防靜電體系構(gòu)建?與管理指南。
本標(biāo)準(zhǔn)參照了國內(nèi)外相關(guān)防靜電體系的構(gòu)建、管理、測(cè)試方法等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合國內(nèi)電子工業(yè)現(xiàn)?狀編寫而成。
請(qǐng)注意本標(biāo)準(zhǔn)的某些內(nèi)容可能涉及專利。本標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。
《電子工業(yè)防靜電系統(tǒng)通用要求》是根據(jù)靜電行業(yè)發(fā)展需要，以及靜電企業(yè)和生產(chǎn)單位的實(shí)際需求，?由中國電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)防靜電裝備分會(huì)提出并組織編制的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：蘇州天華超凈科技股份有限公司、深圳市亨達(dá)洋靜電技術(shù)有限公司、上海碩?榮電子科技有限公司、浙江三威防靜電裝備有限公司、上海佰斯特電子工程有限公司、華東理工大學(xué)華?昌聚合物有限公司、北京東方計(jì)量測(cè)試研究所、東莞市科園防靜電設(shè)備有限公司、東莞市寧楚智能科技?有限公司、東莞市中芯防靜電科技有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：王榮剛、鄧飛、孫思宇、劉清松、莊載榮、莊佐華、朱雪梅、王曉東、高志良、?王春元、談平、徐群。
本標(biāo)準(zhǔn)主要審查人：孫延林、裴振華、孫可平、歐陽吉庭、王大千。
引
言
本標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了電子工業(yè)防靜電基本要求，其源于有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、經(jīng)驗(yàn)與試驗(yàn)結(jié)果。防靜電原理作為本標(biāo)?準(zhǔn)的技術(shù)基礎(chǔ)，簡(jiǎn)述如下：
——為防止帶靜電物體(人員、物品、測(cè)試生產(chǎn)設(shè)備等)對(duì)靜電敏感電子產(chǎn)品產(chǎn)生靜電感應(yīng)和發(fā)生?放電，可將生產(chǎn)場(chǎng)所中包括人員在內(nèi)的所有導(dǎo)體(測(cè)試儀器、生產(chǎn)設(shè)備等等)、靜電耗散體(工?作表面、地坪等等)電氣連接至接地系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。此連接建立了所有導(dǎo)體、靜電耗散體、人員?等之間的等電位，只要防靜電工作區(qū)中所有導(dǎo)靜電物體的電勢(shì)相同，電勢(shì)差就可維持在一個(gè)近?似“零”伏電位的水平，從而消除相互之間靜電放電的發(fā)生；
—生產(chǎn)場(chǎng)所中所用的帶靜電絕緣材料、制品(如電路板材料、絕緣包裝等)和孤立導(dǎo)體不能或不?便通過接地來泄放靜電，空氣電離方法可通過釋放正、負(fù)空氣離子來消除這些絕緣材料、制品、?孤立導(dǎo)體上的靜電荷；
——在防靜電工作區(qū)之外，上述措施無法實(shí)現(xiàn)或不便于實(shí)現(xiàn)，防靜電包裝的使用就成了必不可少防?靜電措施。防靜電可通過將靜電敏感電子產(chǎn)品封閉在防靜電包裝中實(shí)現(xiàn)。所選包裝類型取決于?使用場(chǎng)所、使用目的。在防靜電工作區(qū)內(nèi)，靜電耗散包裝能提供足夠的保護(hù)。在防靜電工作區(qū)?外，建議使用靜電放電屏蔽包裝或其它隔離方法。雖然本標(biāo)準(zhǔn)中沒有討論這些包裝材料與隔離?方法，但了解在應(yīng)用上的差異很有必要；
——生產(chǎn)場(chǎng)所中靜電源產(chǎn)生的靜電場(chǎng)可對(duì)靜電敏感電子產(chǎn)品產(chǎn)生損害，采取主動(dòng)屏蔽、被動(dòng)屏蔽措?施能夠避免這種損害；
——工作環(huán)境的濕度要求對(duì)遏制靜電的產(chǎn)生具有重要意義。本標(biāo)準(zhǔn)雖不探討但提出了防靜電工作區(qū)?的濕度范圍。
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電子工業(yè)防靜電系統(tǒng)通用要求
1??范圍
本標(biāo)準(zhǔn)涵蓋電子工業(yè)設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試、使用、存儲(chǔ)、運(yùn)輸、維護(hù)等過程中的防靜電技術(shù)與管理方?面的基本要求，為各電子企業(yè)、科研院所、實(shí)驗(yàn)室等構(gòu)建防靜電工作區(qū)、采用防靜電技術(shù)、建立防靜電?質(zhì)量管理體系等提供指導(dǎo)依據(jù)。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于靜電敏感電壓大于等于人體放電模型100V、大于等于帶電器件模型200V的電子元器?件、電氣產(chǎn)品的生產(chǎn)、測(cè)試、包裝、存儲(chǔ)等，包括防靜電工作區(qū)內(nèi)孤立導(dǎo)體靜電電壓大于等于35V的技?術(shù)要求。對(duì)于靜電敏感度電壓值小于上述要求的靜電敏感電子產(chǎn)品，本標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)、管理要求仍然適用，?但是需要根據(jù)產(chǎn)品防護(hù)要求進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑鲅a(bǔ)或刪減。
本標(biāo)準(zhǔn)不適合作為易燃易爆氣體、粉體、液體和化工品、火工品等作業(yè)場(chǎng)所的技術(shù)、管理規(guī)范，如?電子工業(yè)生產(chǎn)涉及到此類場(chǎng)所，還應(yīng)參照和符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、法律法規(guī)要求。
2??規(guī)范性引用文件
凡是標(biāo)注日期的引用文件，僅所標(biāo)注日期的版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。凡是不標(biāo)注日期的引用文件，其最?新版本(包括所有的修改單)適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB/T?15463?靜電安全術(shù)語
GB?18871 ?電離輻射防護(hù)與輻射源安全基本標(biāo)準(zhǔn)
GB/T?19000?質(zhì)量管理體系?基礎(chǔ)和術(shù)語
GB/T?33555?潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)指南
GB?50073 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
GJB?86?防靜電包裝手冊(cè)
SJ/T10694?電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)方法
SJ/T?11446 離子化靜電消除器通用規(guī)范
SJ/T???11587 ?電子產(chǎn)品防靜電包裝技術(shù)要求
IEC61340-2-2 ??靜電學(xué)第2-?2部分：測(cè)試方法——起電量測(cè)試?(Electrostatics–part????????????????2-2:
Measurement ????methods-Measurement ?????of ????chargeability)
IEC61340-5-1??靜電學(xué)第5-1部分：電子器件的防靜電——通用要求Electrostatics????????-Part????????5-1:
Protection ????of ????electronic ????devices ????from ????electrostatic ?????phenomena ????-General ????requirements)
ANSI/ESD?S20.20?靜電放電控制程序(英文原文)
3??術(shù)語和定義、縮略語
3.1??術(shù)語和定義
GB/T ?15463和GB/T?19000規(guī)定的術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
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3.1.1????靜電放電?(ESD)
兩個(gè)具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或者靜電場(chǎng)感應(yīng)引起高電位物體向低電位物體快速轉(zhuǎn)?移靜電電荷過程。
3.1.2 ?防靜電/靜電防護(hù)
為防止靜電放電所采取的各種技術(shù)、管理方法或防護(hù)措施。
3.1.3????防靜電工作區(qū) (EPA)
配備各種防靜電裝備(用品)和設(shè)置接地系統(tǒng)，能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記的場(chǎng)所。
3.1.4??防靜電接地
防靜電材料或防靜電制品通過導(dǎo)體與大地實(shí)現(xiàn)電氣連接，使其與大地的電位相近并提供泄漏電荷的?通道。
3.1.5??防靜電接地系統(tǒng)
將靜電泄放到大地和實(shí)現(xiàn)等電位連接而配置的接地線系統(tǒng)，又稱ESD接地系統(tǒng)。
3.1.6??離子化靜電消除器
能使空氣電離產(chǎn)生正、負(fù)離子，中和帶電體上的表面異性電荷的靜電消除裝置。
3.1.7??組織
電子工業(yè)企業(yè)中，負(fù)責(zé)處置靜電敏感電子產(chǎn)品的專業(yè)部門或團(tuán)體，也可以是具有相應(yīng)能力的外包單?位。
3.1.8??防靜電方針
由組織最高管理者正式發(fā)布的關(guān)于防靜電方面全面意圖或方向。
3.1.9??處置
在靜電敏感電子產(chǎn)品的采購、制造、加工、組裝、包裝、標(biāo)識(shí)、維修、測(cè)試、環(huán)境實(shí)驗(yàn)、儲(chǔ)存、分?發(fā)和運(yùn)輸?shù)冗^程中，直接或者間接作用于產(chǎn)品的活動(dòng)。
超過電子產(chǎn)品最高額定電流的電流。
3.1.10??靜電放電敏感度
3.1.23??人體電壓
電子元器件能夠耐受相應(yīng)放電模型的最大靜電放電電壓值或者設(shè)置的相應(yīng)級(jí)別。
人體由于自身行動(dòng)或與其它帶電物體相靠近或接觸，在人體產(chǎn)生并積聚靜電，形成的人體電壓。
3.1.11??防靜電包裝
3.1.24??儀器驗(yàn)證
為靜電敏感電子產(chǎn)品提供具有防靜電功能的包裝物品或材料，如包裝袋、填充物、中轉(zhuǎn)箱、集成電?路包裝管等。
3.1.12??公共接地點(diǎn)
為達(dá)到等電位而設(shè)置的共用接地連接點(diǎn)。
3.1.13??設(shè)備保護(hù)接地
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EP???????????防靜電工作區(qū)(Electrostatic ??protection ??area)
EOS——電過應(yīng)力(Electrical over-stress)
ESI??????????靜電放電?(Electrostatic ??Discharge)
ESDS——靜電放電敏感的 (Electrostatic??discharge??sensitive)
HBM——人體放電模型?(Human ???body ????model)
4??管理要求
4.1??人員安全
由于本標(biāo)準(zhǔn)涉及的工作環(huán)境存在人員觸電的危險(xiǎn)，所以采用本標(biāo)準(zhǔn)的企業(yè)應(yīng)選擇符合相關(guān)法規(guī)、國?內(nèi)外安全要求的設(shè)備。用戶應(yīng)注意，本標(biāo)準(zhǔn)不能取代或代替任何其它關(guān)于人員安全的規(guī)定。
用戶應(yīng)采取防止電氣危害的措施，采用有關(guān)設(shè)備正確接地的標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范。凡涉及人員的安全規(guī)定與?要求，用戶應(yīng)確保符合相關(guān)法規(guī)規(guī)定并認(rèn)真執(zhí)行。
4.2.1 ?每個(gè)企業(yè)應(yīng)設(shè)置專門的組織來負(fù)責(zé)防靜電事項(xiàng)。組織應(yīng)由?ESD 專職人員、生產(chǎn)、工程、品質(zhì)、 采購、維修、人力資源、基建、研發(fā)、工藝、文檔部門等人員組成。
4.2.2 ?組織負(fù)責(zé)提出防靜電管理目標(biāo)，根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)和管理目標(biāo)要求建立防靜電質(zhì)量管理體系，并明確?每個(gè)部門的職責(zé)范圍，同時(shí)也負(fù)責(zé)防靜電質(zhì)量管理體系日常監(jiān)督和運(yùn)維管理。
4.2.3??組織內(nèi)至少有2名經(jīng)過國家相關(guān)專業(yè)培訓(xùn)機(jī)構(gòu)培訓(xùn)并獲得執(zhí)業(yè)資格的ESD?工程師。
4.2.4 ?組織定期負(fù)責(zé)對(duì)企業(yè)的防靜電管理體系進(jìn)行周期性修訂、更新或擴(kuò)展。
4.2.5 ?企業(yè)最高管理者是組織的最高行政領(lǐng)導(dǎo)，職責(zé)如下：
4.3.4??防靜電管理體系
4.2.6?防靜電專員應(yīng)是參加防靜電質(zhì)量管理體系決策的最高管理層成員，并被授予以下職責(zé)：
4.3??管理項(xiàng)目
4.3.1??防靜電管理目標(biāo)
4.3.1.1 ?組織內(nèi)各職能部門分層次制定防靜電管理目標(biāo)。防靜電目標(biāo)應(yīng)具體并可量化、考核。
4.3.1.2 ?防靜電管理目標(biāo)應(yīng)與企業(yè)管理相適應(yīng)，并能滿足用戶的質(zhì)量要求。
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4.3.5??監(jiān)督與審查
4.3.5.1 ?組織負(fù)責(zé)或請(qǐng)第三方機(jī)構(gòu)定期監(jiān)督防靜電質(zhì)量體系的執(zhí)行情況，同時(shí)提出核查和改進(jìn)意見并?存檔。
4.3.5.2 ?防靜電專員負(fù)責(zé)組織編制周期監(jiān)督審查報(bào)告，并定期向企業(yè)最高管理者匯報(bào)，以改進(jìn)和完善?防靜電質(zhì)量管理體系。
4.3.5.3 ?宜結(jié)合組織內(nèi)部的實(shí)際情況開展相適應(yīng)的評(píng)價(jià)活動(dòng)，不限于第三方機(jī)構(gòu)定期監(jiān)督的方式要求。
5??檢驗(yàn)與驗(yàn)證
5.1??產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn)
5.1.1??所有防靜電裝備(用品)應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)表1、表2、表3、表4提出防靜電裝備(用品)的測(cè)試?方法和要求。
5.1.2 ?能夠認(rèn)可的檢測(cè)報(bào)告依據(jù)如下：
5.2??符合性驗(yàn)證
5.2.1 ?符合性驗(yàn)證用來復(fù)核產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn)結(jié)果。
5.2.2 ?在符合性驗(yàn)證方案中應(yīng)確定技術(shù)要求、測(cè)量限值和檢驗(yàn)頻次。
5.2.3 ?符合性驗(yàn)證應(yīng)規(guī)定測(cè)試方法、測(cè)試儀器性能，尤其關(guān)注特殊工藝環(huán)境對(duì)防靜電裝備(用品)防?靜電參數(shù)的影響。
5.2.4 ?如果組織使用與符合性驗(yàn)證方案規(guī)定的不同測(cè)試方法，則必須在防靜電技術(shù)方案中做修正聲明，?并且評(píng)估通過其測(cè)試方法。對(duì)應(yīng)的記錄要存檔。
5.2.5 ?對(duì)于符合性驗(yàn)證中采用在線監(jiān)測(cè)儀器或系統(tǒng)、智能化驗(yàn)證時(shí)，組織與客戶需認(rèn)可監(jiān)測(cè)的參數(shù)和?技術(shù)方法。
5.2.6 ?在整個(gè)使用階段組織應(yīng)對(duì)檢驗(yàn)儀器設(shè)備進(jìn)行全過程的性能質(zhì)量評(píng)價(jià)，以確保儀器穩(wěn)定可靠。
6??技術(shù)要求
6.1??EPA?構(gòu)建基本原則
6.1.1 ?????所有ESD?控制項(xiàng)目需要可靠接地，應(yīng)將?ESD?控制項(xiàng)目連接實(shí)現(xiàn)等電位，以減少或消除?ESD現(xiàn)象。
6.1.2 ?對(duì)于高壓設(shè)備產(chǎn)生的強(qiáng)電場(chǎng)，對(duì)靜電敏感電子產(chǎn)品產(chǎn)生不良影響時(shí)，應(yīng)采用主動(dòng)屏蔽或被動(dòng)屏?蔽措施，或采取避開措施以免造成感應(yīng)帶電。
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ESD接地不便利用設(shè)備安全保護(hù)接地時(shí)，可選用功能性接地。如允許設(shè)備安全保護(hù)接地與功能接地?連接，建議將功能接地系統(tǒng)接地端與設(shè)備安全保護(hù)接地系統(tǒng)接地端采用共用接地極(點(diǎn))方式。
若無設(shè)備安全保護(hù)接地、功能性接地系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)將操作現(xiàn)場(chǎng)所有ESD裝備、用品接地線與現(xiàn)場(chǎng)其它?可接地的金屬導(dǎo)體連接到共用接地極(點(diǎn)),其可以是接線端(排),也可以是一個(gè)大的金屬體，如金 屬隔斷、金屬管道等。共用接地極(點(diǎn))標(biāo)識(shí)見圖2。
圖2??共用接地極(點(diǎn))標(biāo)識(shí)
表1??接地/等電位連接要求
| 技術(shù)要求 | 接地類型及連接方法 | 連接限值要求 | 測(cè)試方法 |
|
接地/等電位連接系統(tǒng) |
保護(hù)接地 | 交流阻抗<1.0Ω | SJ/T10694 |
| 功能接地 | <25Ω | SJ/T10694 | |
| 等電位連接 | <1.0×10° | SJ/T10694 |
6.2.3??人員接地
操作靜電敏感電子產(chǎn)品的人員，都要采取人員接地措施。人員接地有兩個(gè)方法：一是使用腕帶系統(tǒng)，?二是使用地板/鞋系統(tǒng)。
對(duì)坐姿崗位的人員，必須使用腕帶系統(tǒng)。對(duì)于站姿或流動(dòng)操作人員，為保障操作人員人體電位盡可?能與大地等電位，應(yīng)優(yōu)先選擇腕帶接地系統(tǒng)，在人員移動(dòng)過程中可以暫時(shí)脫離腕帶接地，使用地板/鞋?系統(tǒng)接地。
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表2??人員接地要求
|
技術(shù)要求 |
ESD防護(hù)物品 |
產(chǎn)品認(rèn)可 | 符合性驗(yàn)證 | ||
| 技術(shù)要求 | 測(cè)試方法 | 技術(shù)要求 | 測(cè)試方法 | ||
|
人員接地 |
腕帶線電阻 |
0.8×10?<R
<1.2×10? Ω |
SJ/T10694 |
0.8×10?<R
<1.2×10?Q |
SJ/T?10694 |
|
腕帶表面對(duì)接 地扣電阻 |
SJ/T10694 | ||||
| R≤1×10? Ω | 一內(nèi)表面 | 不適用 | |||
| R>1×10’2 | 一外表面 | 不適用 | |||
|
人體腕帶系統(tǒng) |
0.75×10?<R??<3.5×10’Ω |
SJ/T10694 |
0.75×10?<R?<3.5×100 |
SJ/T?10694 |
|
| 鞋類 | R.≤1×10Ω | SJ/T10694 | 不適用 | ||
|
人員/鞋/地板 系統(tǒng) |
R??≤1.0×10?Ω和?人體電壓的絕對(duì)值
<100V(5個(gè)最高峰值 的平均值) |
SJ/T10694??ESD?STM97.2?IEC61340-4-5 |
R??≤1.0×10°2 |
SJ/T?10694 |
|
| 人員/鞋系統(tǒng) | 不適用 | R<3.5×10Ω | SJ/T?10694 | ||
| (1)ESD服裝作為腕帶接地路徑組成的情況下，總系統(tǒng)電阻應(yīng)小于3.5×10?2?？傁到y(tǒng)電阻包括人員、服裝和接地電?阻?；
(2)本表中使用的符號(hào)：?R對(duì)地電阻，?R對(duì)接地點(diǎn)的電阻； (3)采用IEC?61340-4-3標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)于鞋類的產(chǎn)品認(rèn)可測(cè)試環(huán)境條件濕度宜為(12±3)%RH,溫度宜23℃±2℃; (4)定期進(jìn)行人體電壓測(cè)試，峰值電壓絕對(duì)值應(yīng)小于100V; (5)人/鞋系統(tǒng)：對(duì)每只腳逐個(gè)測(cè)試，每只腳電阻R?<3.5×10Q; (6)人/鞋/地板系統(tǒng)：符合性驗(yàn)證時(shí)，電阻限值R?<1.0×10°Ω;產(chǎn)品認(rèn)可檢驗(yàn)時(shí)，人體峰值電壓平均值的絕對(duì)值<?100V。 (7)當(dāng)對(duì)人員/鞋/地板系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試時(shí)，可以根據(jù)實(shí)際情況選擇測(cè)試方法中的任意一種實(shí)施，滿足相應(yīng)判定條件。 |
|||||
6.2.4????EPA 內(nèi)防靜電接地要求
6.2.4.1 ?地線連接可采用焊接、壓接、螺栓等方式連接，要避免纏繞并滿足一定機(jī)械強(qiáng)度要求和采取 防銹防腐措施。
6.2.4.2 ?靜電耗散材料與接地線導(dǎo)線連接采取面接觸方式(例如：與接地導(dǎo)線焊接一起的銅箔與桌墊?接觸面積宜大于10cm2)。
6.2.4.3 ?防靜電裝備(工作臺(tái)、貨架等)與接地匯流線、接地極之間連接線盡可能短，如有必要可采?取防撞擊、碾壓措施。
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6.3.2????EPA?管控規(guī)則
6.3.2.1??一個(gè)防靜電工作區(qū)?(EPA)?可以是一個(gè)工作臺(tái)、單個(gè)操作間、整棟生產(chǎn)車間等，應(yīng)有明確的界?限標(biāo)識(shí)。防靜電工作區(qū)(EPA)?的警告標(biāo)志應(yīng)張貼在工作人員進(jìn)入?yún)^(qū)域的入口之處，并且能清晰可見(見?圖?3?)?。
6.3.2.2 ??????應(yīng)在防靜電工作區(qū)?(EPA) ?內(nèi)處置靜電敏感電子產(chǎn)品，包括元器件，半成品，成品等。只有完 成了防靜電培訓(xùn)的人員，才能進(jìn)入防靜電工作區(qū)?(EPA)?。 未受過培訓(xùn)的人員進(jìn)入?EPA,?應(yīng)有受過培訓(xùn)的?人員陪同。
6.3.2.3 ??????為了減少因CDM?模式造成靜電敏感電子產(chǎn)品損壞，對(duì)各工序中所接觸的絕緣體(絕緣材料)、?孤立導(dǎo)體產(chǎn)生靜電的處理方案如下：
——絕緣體、孤立導(dǎo)體表面靜電電壓絕對(duì)值達(dá)到或超過2000V, ?則該絕緣體、孤立導(dǎo)體表面與靜電 敏感電子產(chǎn)品保持至少30cm?以上距離；
——絕緣體、孤立導(dǎo)體表面的靜電電壓絕對(duì)值達(dá)到或超過125V,?則該絕緣體、孤立導(dǎo)體表面應(yīng)與靜?電敏感電子產(chǎn)品保持至少2.5cm?以上的距離；
——孤立導(dǎo)體表面靜電電壓絕對(duì)值超過規(guī)定的35V 時(shí)，可利用離子化靜電消除技術(shù)消除其靜電或采?取隔離、靜電屏蔽等措施。
6.3.2.4??所有與處置靜電敏感電子產(chǎn)品無關(guān)的絕緣體，例如：塑料制品、雞毛撣子、廢品盒等不允許?放置在靜電敏感電子產(chǎn)品的處置區(qū)域，至少遠(yuǎn)離30cm 以上距離。
6.3.2.5??離子化靜電消除器使用、管理原則：
——所用離子化靜電消除器殘余電壓值低于所處置靜電敏感電子產(chǎn)品靜電敏感度電壓值；
離子化靜電消除器使用現(xiàn)場(chǎng)，應(yīng)避免干擾氣流存在，所用壓縮氣源潔凈度符合要求；?——正確選擇各類離子化靜電消除器，以滿足各類工序消除靜電的要求；
……離子化靜電消除器使用時(shí)產(chǎn)生的污染(由放電針本身產(chǎn)生的濺射微粒子等原因造成),對(duì)靜電
敏感電子產(chǎn)品、生產(chǎn)環(huán)境潔凈度不能造成不良影響，如有影響則需要采取必要的防護(hù)措施；
—??對(duì)于環(huán)境潔凈度要求很高?(GB50073規(guī)定的1—4級(jí))的智能化自動(dòng)生產(chǎn)線，可使用X射線離子?化靜電消除器，但現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)采取電離輻射防護(hù)措施和符合標(biāo)準(zhǔn)GB18871有關(guān)電離輻射安全標(biāo)準(zhǔn)要 求；
——定期對(duì)離子化靜電消除器保養(yǎng)、維護(hù)、檢驗(yàn)，其臭氧、噪音、安全性等符合?SJ/T?11446?標(biāo)準(zhǔn)?要?求?。
注意
防靜電保護(hù)區(qū)
接觸靜電放電敏感元件時(shí)
請(qǐng)采取適當(dāng)?shù)念A(yù)防措施
圖3??防靜電工作區(qū)?(EPA)?標(biāo)識(shí)
表4列出了EPA內(nèi)可供選擇的防靜電項(xiàng)目，其技術(shù)限值及測(cè)試方法必須遵守。
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表4??防靜電工作區(qū)?(EPA)?防靜電裝備(用品)技術(shù)要求一覽表
| 技術(shù)要求?范圍 | 防靜電項(xiàng)目 | 產(chǎn)品認(rèn)可 | 符合性驗(yàn)證 | |||
| 技術(shù)要求 | 測(cè)試方法 | 技術(shù)要求 | 測(cè)試方法 | |||
|
防靜電工 作區(qū) (EPA) |
工作臺(tái)面，儲(chǔ)存架，手?推車、傳輸帶 | R?<1×10°0?R<1×10°Q | SJ/T10694 | R,<1×10°Q?R<1×10°2 | SJ/T?10694 | |
| 手腕帶接地點(diǎn) | R?<29 | SJ/T10694 | R?<29 | SJ/T?10694 | ||
| 雙回路腕帶 | R:>1×10°Ω | 采用絕緣電阻測(cè)?試儀測(cè)試 | R.>1×10°Ω | 采用絕緣電阻測(cè)?試儀測(cè)試 | ||
| 地板 | Rm<1×10°2
Rr<1×10°8 |
SJ/T10694 | R?<1×10°2 | SJ/T?10694 | ||
| 座椅 | R?<1×10°Q?Rp<1×10° | SJ/T10694 | R?<1×1092?R?<1×10° | SJ/T?10694 | ||
|
離子化靜電消除器 |
衰減時(shí)間由用戶自己確定?IBVI<35V
工作范圍符合企業(yè)規(guī)范要求 |
SJ/T10694 |
衰減時(shí)間由用戶確定?IBVI<35V
工作范圍符合企業(yè)規(guī)范要求 |
SJ/T?10694 |
||
| 防靜電工作區(qū)(EPA)
現(xiàn)場(chǎng)靜電參數(shù)在線監(jiān) 測(cè)器? |
用戶自定 | 制造商產(chǎn)品手冊(cè) | 用戶自定 | 制造商產(chǎn)品手冊(cè) | ||
|
服裝 |
Ro<1×10″Q
(防靜電服) |
ST/T10694 | R,<1×10Ω | SJ/T?10694 | ||
| Ro<1×10°Ω
R‰<1×10°Ω (可接地防靜電服) |
SJ/T10694 |
R?<1×10?2??R<1×10° |
SJ/T?10694 |
|||
| R.<3.5×10’Ω
(可監(jiān)測(cè)防靜電系統(tǒng)) |
(ANSI/ESD?STM2.1) | R.<3.5×10a | (ANSI/ESD?STM2.1) | |||
| 防靜電工具
(無電源類):鑷子、 刷子、改錐等。 |
R?o<1×10? |
SJ/T10694 |
Rp,<1×10° |
SJ/T?10694 |
||
| 防靜電工具(有電源 ?類):烙鐵、電批等。 | R?<2Ω;?I?<10mA;
U,<20mV; |
SJ/T10694 |
R?<2Ω; |
SJ/T?10694 |
||
| 防靜電手套、指套 | R<1×10°??Roo<1×10″2 | SJ/T10694 | R,<1×10°2 | SJ/T?10694 | ||
| 包?裝 | 靜電耗散
材料 |
1×10?≤R.<1×10″s2
1×10?≤R.<1×10″Q 1×10?≤R,<1×10″Ω |
SJ/T10694 | 1×10?≤R
<1×10″2 |
SJ/T?10694 | |
| 導(dǎo)靜電材料 | R?<1×10? Ω??R.<1×10? Ω
Ru<1×10Ω |
SJ/T10694 | Ro,<1×10°2 | SJ/T?10694 | ||
| 靜電放電屏蔽型 | <20nJ | SJ/T10694 | ||||
| 低起靜電材料 | <0.1μc/m2 | IEC61340-2-2 | ||||
| a對(duì)于產(chǎn)品認(rèn)可，測(cè)試環(huán)境條件：濕度為(12±3)%RH,(50±5)%RH;溫度23℃±2℃。沒規(guī)定時(shí)，環(huán)境預(yù)處理時(shí)間最短為48h; b符合性驗(yàn)證列出的測(cè)試方法僅適于基本的測(cè)試要求；
c本表中使用的符號(hào)：R點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻；R.對(duì)地電阻；R?對(duì)接地點(diǎn)的電阻；R與人體接觸的系統(tǒng)電阻；R,表面電阻；R.體積電阻；Ru?是指雙線間絕緣電阻；I泄漏電流；U泄漏電壓； d?ESD地板測(cè)量，推薦使用最大測(cè)試電壓為100V; e操作靜電敏感電子產(chǎn)品的人員通過地板接地，接地要求參照表2要求執(zhí)行； f預(yù)防CDM模式所致ESDS產(chǎn)品損壞，接觸靜電敏感電子產(chǎn)品的材料、物品最低電阻限值1×103Ω; 8工作表面是指放置未受保護(hù)的靜電敏感電子產(chǎn)品的表面；?BV表示離子化靜電消除器殘余電壓。 |
||||||
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6.3.2.6?應(yīng)避免將靜電敏感電子產(chǎn)品直接裸放在傳輸線、存放架、運(yùn)轉(zhuǎn)車等物體金屬表面上，可采取 將靜電耗散材料(橡膠墊等)放置在靜電敏感電子產(chǎn)品與金屬表面之間的隔離措施。
6.3.2.7 ?????EPA內(nèi)所用防靜電裝備、產(chǎn)品等的防靜電性能應(yīng)與其使用壽命相符。如無法滿足要求，采取臨?時(shí)抗靜電劑處理措施時(shí)，則應(yīng)明確標(biāo)識(shí)防靜電性能期限，并定期進(jìn)行防靜電處理及監(jiān)測(cè)。所用抗靜電劑?應(yīng)無腐蝕性，符合環(huán)保和潔凈度(如果有)要求。
6.4??包裝
ESD防護(hù)包裝應(yīng)符合客戶合同、采購訂單、圖紙及其它文件的要求。對(duì)合同、采購訂單、圖紙或其?它文件沒有定義的ESD防護(hù)包裝，組織應(yīng)根據(jù)防護(hù)要求，在防靜電方案中提出ESD防護(hù)包裝要求。技術(shù)要?求可參考表4,推薦使用圖4所示包裝標(biāo)識(shí)。
防靜電包裝設(shè)計(jì)與選用指南如下：
g)ESD????防護(hù)包裝生產(chǎn)制造商應(yīng)將6.4條所列條款根據(jù)用戶要求與選擇編制使用指南。
主要功能代碼：
S—-?靜電放電屏蔽；?C——導(dǎo)靜電；
D-—???靜電耗散。
大
圖4?ESD?包裝標(biāo)識(shí)
6.5??標(biāo)識(shí)
應(yīng)按照客戶和靜電敏感電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)的要求，參照?qǐng)D5給靜電敏感電子產(chǎn)品打印標(biāo)識(shí)。靜電敏?感電子產(chǎn)品和ESD包裝上的標(biāo)識(shí)是告知用戶識(shí)別靜電敏感電子產(chǎn)品及其靜電敏感電壓，這類標(biāo)識(shí)的使用?與管理應(yīng)被納入防靜電方案中。
通常每個(gè)靜電敏感電子產(chǎn)品包裝(如包覆、小袋或快速包裝袋等)或多層包裝最外層側(cè)面應(yīng)有清晰?的標(biāo)識(shí)。
裝有靜電敏感電子產(chǎn)品包裝、周轉(zhuǎn)容器、貯存容器等應(yīng)使用圖5所示ESD標(biāo)識(shí)，往往也擴(kuò)展到裝有靜?電敏感電子產(chǎn)品貯存柜或箱柜、貨架等。
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在防靜電方案中應(yīng)說明包裝的標(biāo)識(shí)要求，在一些契約性協(xié)議中也應(yīng)規(guī)定。
圖5 ?靜電敏感電子產(chǎn)品標(biāo)識(shí)
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附??錄??A
(規(guī)范性附錄)
ESD?防護(hù)項(xiàng)目的輔助評(píng)測(cè)
A.1??概述
一?些ESD防護(hù)項(xiàng)目，有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中沒有制定所需要的限值與控制要求，因此需要制定有關(guān)規(guī)范及要求。?本附錄提供了某些ESD防護(hù)項(xiàng)目輔助評(píng)測(cè)要求。
A.2??自動(dòng)化處置設(shè)備
為了防止自動(dòng)化處置設(shè)備產(chǎn)生靜電并造成不良影響，需測(cè)量機(jī)器部件的對(duì)地電阻，并監(jiān)控和檢測(cè)產(chǎn)?品通過機(jī)器時(shí)因摩擦分離等原因產(chǎn)生的靜電電壓。此時(shí)需提出持續(xù)監(jiān)測(cè)及確定靜電源的方法與要求，其?包括機(jī)械部件對(duì)地電阻和設(shè)備靜電源的對(duì)地電位測(cè)量。
A.3??手持工具
SJ/T10694?標(biāo)準(zhǔn)提供了電氣焊接/非焊接手持工具泄漏電壓、電流和尖端對(duì)地電阻的測(cè)試方法。對(duì)其?或有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)沒有涉及的電池供電、氣動(dòng)和其它動(dòng)力源的手持工具靜電評(píng)估方法，也需要提出并列入ESD?防護(hù)項(xiàng)目中。
A.4??連續(xù)監(jiān)測(cè)器
使用連續(xù)監(jiān)測(cè)器可以杜絕員工的不規(guī)范操作。良好接地的腕帶可使人體電壓保持在20V以內(nèi)。若腕?帶佩戴接地不良時(shí)會(huì)立即通過連續(xù)監(jiān)測(cè)器察覺。無連續(xù)監(jiān)測(cè)器時(shí)，操作者不會(huì)很快知道腕帶的故障。連?續(xù)監(jiān)測(cè)器的使用有助減少或消除ESD損壞并降低點(diǎn)檢人員工作強(qiáng)度。
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附??錄??B
(規(guī)范性附錄)
電子產(chǎn)品靜電敏感度測(cè)試
B.1????概述
靜電放電失效是與靜電放電有關(guān)的、一系列復(fù)雜的相互關(guān)聯(lián)過程造成的，影響靜電放電敏感度的因??素中，自身本身的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是主因，但它也受到包括靜電放電電流、電壓、靜電放電波形脈寬、靜電敏??感電子產(chǎn)品抗浪涌設(shè)計(jì)、制造工藝等等外因的顯著影響。靜電敏感器件的放電損壞大都與過電流(能量)、?過電壓密切相關(guān)。電子器件的靜電放電敏感度測(cè)試，無論是采用人體放電模型?(HBM)?、帶電器件模型?? (CDM) 等，都僅提供一個(gè)靜電放電敏感度參考值(一般是放電電壓值)。必須注意的是：很多情況下，?這些模擬電路及測(cè)試給出靜電放電敏感電壓閾值并不是在制造、制程或使用中實(shí)際造成損壞的電壓閾??值，只是提出大家共同遵守的要求。表B.1列出的標(biāo)準(zhǔn)、方法為電子產(chǎn)品的靜電放電敏感度測(cè)試提供參??考。
B.2???人體放電模型?(HBM)
人體放電模型是模擬人體手指直接放電到電子元器件的端子，通過數(shù)理統(tǒng)計(jì)，確定電子元器件損害?閾值。該模型是將不同極性電壓對(duì)100pF無感電容器充電，然后通過一個(gè)無感開關(guān)接通與之串聯(lián)的一只?1500Ω無感電阻器(用于模擬人體放電回路電阻)對(duì)待測(cè)元器件放電。放電脈沖波形通常小于10ns?的上?升時(shí)間，和大約150±20ns?的衰減時(shí)間，這個(gè)模型近似一脈沖電流源。受試元器件都應(yīng)視為對(duì)HBM放電敏?感，通過HBM模型放電測(cè)試方法來確定電子元器件的人體放電模型靜電放電敏感度。
B.3??帶電器件模型?(CDM)
帶電器件模型是模擬對(duì)電子元器件充電(充電方式有多種),使其成為帶電元器件，然后通過充電??的元器件引線端子對(duì)零電位金屬體放電，通過數(shù)理統(tǒng)計(jì)，確定電子元器件損害閾值(靜電放電敏感度)。?由于帶電器件模型的對(duì)地電容很小，放電波形上升時(shí)間通常小于250ps,?放電時(shí)間通常小于2ns,?所以易??受分布參數(shù)影響，同時(shí)對(duì)測(cè)試儀器采樣帶寬(不小于3GHZ)?及分布參數(shù)要求很高，這些問題處理不好， 就很難測(cè)試到電子元器件真實(shí)失效水平。
B.4????人體–金屬模型?(BMM)
人體–金屬放電模型電路與人體放電模型電路相似，只是充電無感電容容量(150pf) ??和放電回路??無感電阻阻值不同。通過對(duì)電容充電到設(shè)定的不同極性電壓后，再通過與之串聯(lián)的一只無感電阻(330Ω)?對(duì)待測(cè)儀器、設(shè)備不同敏感部位(電源接口、天線、顯示屏等等)放電，通過數(shù)理統(tǒng)計(jì)，確定測(cè)試儀器、?設(shè)備的抗擾度或靜電損害閾值。放電分接觸式、非接觸式和水平耦合板、垂直耦合板放電方式。人體—-??金屬放電模型用于不同設(shè)備、儀器測(cè)試的電路參數(shù)(電容值、電阻值、放電電極結(jié)構(gòu)等)有所不同。人??體一—金屬模型主要用于設(shè)備、儀器的靜電敏感度與抗擾度測(cè)試。
T/CEIA-1002–2020
表B.1??電子元器件、設(shè)備靜電放電敏感度測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
| 靜電放電模型 | 元器件、設(shè)備靜電放電敏感度測(cè)試標(biāo)淮 |
| 人體放電模型(IBM) | IEC61340-3-1 |
| 帶電器件模型(CDM) | TEC61340-3-3 |
| 人體一金屬模型(BMM) | IEC61000-4-2 |